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威而信精密 | 气浮导轨



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气浮导轨基于空气轴承的基本原理,实现无摩擦和无振动的平滑移动。它具有运动精度高、清洁无污染等特点。同时还具有误差均化作用,因而可用比较低的制造精度来获得较高的导向精度。气浮导轨在测量仪器、精密机械中得到了广泛的应用。


什么是气浮导轨

气浮导轨是利用空气粘性,将外部压缩空气通过节流器导入导轨与滑块间隙中,形成具有超高刚度的气膜间隙,从而支撑负载实现平稳运动。


威而信气浮导轨

威而信精密拥有二十余年气浮轴承研发与生产研磨经验,在经过搭建气浮导轨性能测试实验平台进行实验验证以及CFD有限元分析的双重验证下,生产研发出具有摩擦阻力小、磨损率近乎为零、无噪音、震动小、运动平稳的超高精度气浮导轨。气浮导轨在先进电子制造装备行业、超精密加工及超精密测量行业、微型机电系统制造和检测行业应用广泛。


气浮主轴

精度高、精度保持长久、仪器精度寿命长


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气浮导轨

直线移动精度高、精度保持长久、仪器精度寿命长


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气浮导轨与摩擦导轨性能对比



气浮导轨

摩擦导轨

应用行业

电子制造装备行业中,如光刻机、贴片机等纳米、亚微米行业的超高精度测量及实验室测量

机械加工及检测中的微米精度测量及车间测量

使用寿命

摩擦系数接近为永不磨损

摩擦力大,长期使用会磨损严重

精度延续性

精度持久性高,出厂精度即为永久精度

无法保证长期精度,精度可持续性差

使用成本

导轨永不磨损,因此不存在售后问题,不用返厂维修,更不用整套更换。

长期磨损严重导致导轨精度损失,磨损后需返厂维修,三四年后需更换整套导轨累加成本高,且影响客户生产

基准修正

精度永不损失,导轨不用人为修正,补偿

导轨需要人为反复修正,补偿。修正频率高,且修正过程复杂

高频杂波信号干扰

测量精度高。气膜刚度大,运动平稳,振幅小,且振动频率接近,因此可完全避免和消除在高精度测量中振动对测量精度的影响,

测量精度低。振动大且振动频率改变从而无法消除及避免测量过程中高频信号的干扰,最终导致参数测量精度的损失

运动性能

摩擦系数小,低速运动不会产生爬行、抖动现象。伺服电动机快速性好,适应启停频繁的测量需求

摩擦系数大,低速状态下会产生抖动现象,且不适用于频繁启停测量需求

由于气浮导轨精度比摩擦导轨高两个数量级,因此,威而信精密采用气浮导轨作为超高精密测量仪器的测量基准。





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